用Ｘ射线光电子谱研究了由等离子体增强化学气相沉积方法制备的富硅ａ－ＳｉＮｘ∶Ｈ（ｘ≤０．８０）薄膜的结构。实验中选取两类典型样品，ｘ分别为０．２８和０．８０。对Ｓｉ２ｐ峰用两个高......

研究了ａ－ＳｉＮｘ∶Ｈ薄膜中不同氮含量样品的室温光致发光。当ｘ≥０．５时，在室温下观察到了较强的室温荧光，而且随氮含量增加，发光峰能量与强度不断增加......