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fH参变量相关论文

表面波器件的ZnO/Al/AlN/Si基片制备研究

ZnO薄膜在c轴方向具有较低有效介电常数、较高机电耦合系数，但是声表面波波速较低;AlN薄膜虽然具有较高的声表面波速，但是介电常数和......

学位

ZnO薄膜 AlN薄膜 Al薄膜射频磁控溅射法 fH参变量表面波器件

基于声表面波器件的ZnO/Al/AlN/Si基片制备研究

ZnO薄膜在c轴方向具有较低有效介电常数、较高机电耦合系数，但是声表面波波速较低；AlN薄膜虽然具有较高的声表面波速，但是介电常数和......

学位

ZnO薄膜 AlN薄膜 Al薄膜射频磁控溅射法 fH参变量

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