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低温环境下MEMS微构件的动态特性及测试系统

研究了微机电系统(MEMS)微构件的谐振频率等动态特性在低温环境下的变化规律，从理论上分析了改变环境温度对微悬臂梁谐振频率的影响......

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微机电系统动态特性低温微悬臂梁冲击激励 Micro-electro-mechanical System(MEMS) dynamic characteri

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