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采用金属有机化合物热分解法研制锆钛酸铅薄膜
详细研究了采用金属有机化合物热分解法制备锆钛酸铅Pb(Zr0.53Ti0.47)O3铁电薄膜的工艺,讨论了影响PZT薄膜相结构的因素。......
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