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multiple-angleellipsometry相关论文
双层光学薄膜参数的多入射角椭偏分析方法
本文讨论了多入射角椭偏测量中光学参数的误差因子以及最佳测量条件的选取.指出,当薄膜较厚时,多入射角椭偏测量可以精确确定膜系......
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多入射角椭偏测量
薄膜参数
多层薄膜
multiple-angle ellipsometry
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