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oharaoterization.相关论文
扫描光荧光表征半导体材料特性
报道了一个自制的采用计算机控制的自动光荧光(PL)扫描系统.该系统可用于形貌半导体晶片或外延层的PL强度分布,尺寸可大到3英寸,样......
期刊
光荧光
半导体
杂质
缺陷
表征
photoluminesoenoe
impurities
defects
oharaoterization.
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