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quasi-monosilicon相关论文
增强氮化硅涂层及其在晶体硅铸锭中的应用
本文采用改进溶胶凝胶法(sol-gel)制备增强氮化硅涂层(SG 涂层),并将其应用于准单晶硅铸锭及普通多晶硅铸锭.实验结果显示:1)采用溶......
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