susceptor相关论文
介绍了垂直喷淋式MOCVD反应器的最新计算机模拟仿真结果，并根据仿真结果对反应器的结构和参数进行了优化设计。应用在自行研制的用......
本文针对CVD P5000 PETEOS工艺出片表面打火发花现象,综合实际工作中的一些经验,从淀积和清洗参数,工艺腔体备件和水路,设备参数管......
