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高电荷态氙离子辐照下的6H碳化硅表面纳米结构变形(英)
高电荷态离子比普通的离子携带较高的势能,势能在材料表面的瞬间释放,能在材料表面形成nm量级的结构损伤。它在纳米刻蚀、小型纳米器......
期刊
碳化硅表面
高电荷态重离子
表面形变
6H-SiC surface
highly-charged ions
topographic modification
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