分步注入相关论文
采用常规方法和分步注入法制备SOI SIMNI(SilicononInsulator SeparationbyImplantationofNitrogen)薄膜材料 .用液氦低温霍耳效应......
采用常规方法和分步注入法制备SOI-SIMNI(Silicon on Insulator-Separation by Implantation of Nitrogen)薄膜材料.用液氦低温霍......