射频反应溅射法相关论文
采用射频反应溅射法在不同氧气分压下制备SnO2-x薄膜，然后在不同温度下对其进行退火处理．利用X射线衍射分析（XRD）和扫描电子显微镜（SEM）......
用射频反应溅射法制备了含Ti量高低不同的两种Fe-Ti-N合金薄膜.研究发现,沉积态低Ti含量的薄膜是α-Fe的多晶体,晶粒尺寸约20nm,沉......
针对VO2薄膜在微测辐射热计上的应用,采用射频反应溅射法,在室温下制备氧化钒薄膜;研究了氧分压对薄膜沉积速率、电学性质及成分的......
