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光刻技术中的聚焦控制对曝光质量有直接的影响。曝光过程中，为保证良率，曝光区域需要时刻处于焦深范围内。通过建立数学模型，探讨了光......
从几何光学角度出发，分别对含有像散和彗差的波前编码系统成像特性进行了分析，推导了含有像散和彗差波前编码系统的光线像差，计算了光......
伴随着大规模的科技革命,超精密的测量和制造技术对现代高科技产业的发展起到日益重要的作用。高精度定位台和高精度导轨作为许多......
通过对1.23m口径望远镜光学结构的像质分析,结合光机结构设计,搭建了适合仰角从0°～90°范围运动的光机系统,从方案设计上满足了望......
针对航空遥感器光机结构的精度需求,提出一种装调方法。对具有折反光路的系统,调整好各部件的位置和姿态,观测星点和光学传函,使系......
为了实现1.23 m望远镜在环境温度从-35℃～+55℃变化范围内,光机系统的成像质量的指标要求,本文从原理上分析了温度变化对光机系统中......
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所设计的镜头在长焦距时的轴上性能接近衍射极限。后来进行的MTF测量证实了这一点。除了机械结构以外,这个镜头在光学设计上还有一......
