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组合刻蚀法相关论文
组合刻蚀法制备窄带滤光片列阵
介绍了组合刻蚀法制备窄带滤光片列阵的基本原理和制备工艺,这是一种效率非常高的制备方法,只需N次刻蚀就可以完成2N通道窄带滤光......
期刊
光学器件
滤光片
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组合刻蚀法
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16通道微型集成滤光片制备技术的研究
多光谱成像光谱技术正在向光谱通道更多、集成度更高、体积小和重量更轻的方向发展,而用于分光的多通道滤光片是其关键光学元件,需要......
期刊
光学薄膜
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组合刻蚀法
多通道滤光片
微型滤光片
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