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垂直结构LED制程中GaN膜转移工艺及衬底材料回用的研究
发光二极管(light-emitting diode,LED)是一种新的光源概念,具有安全可靠、高效节能以及环保等优点,在照明、背光以及显示等诸多领......
学位
LED
垂直结构
晶圆键合
激光剥离
衬底回用
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