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谐振式微加速度计相关论文
一种基于谐振音叉的新型差动式硅微加速度计设计与分析
为提高谐振式加速度计灵敏度、稳定性以及减小加速度计体积,本文提出一种结构新颖的谐振式硅微加速度计。采用一级微杠杆机构对质量......
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谐振式微加速度计
双端固支音叉谐振器
微杠杆结构
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