电涡流位移传感器温度补偿方法研究

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电涡流位移检测是一种非接触的测量方法,常温下可实现高精度地测量。但在高温环境中,电涡流位移传感器的某些参数发生较大的变化,使其检测精度变差,甚至无法正常工作。针对此问题,本文分析了温度影响检测线圈参数的机理,发现检测线圈电感值L受到温度影响而产生的相对变化幅度小于品质因数Q的相对变化幅度;通过实验采集了不同位移x、不同温度t下传感器检测线圈的多组电感值L和品质因数Q,实验数据验证了分析的正确性;为了实现电涡流位移传感器的温度补偿,本文对上述数据采用分段支持向量回归机(SVR)的方法进行模型辨识,较为准确地获得x和t的值,实现了高温涡流位移检测。
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