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本文介绍了一种射频阻抗测量夹具的建模及去嵌入技术。分析了简单阻抗测量夹具中由于阻抗不连续以及结构变换引起的反射,分别建立PCB板上微带传输线的模型、同轴至微带线的转接模型以及从测量结果中去嵌入夹具影响的方法。使用自制的测量夹具测量 0603封装的贴片器件,并利用文中的方法进行建模和去嵌入处理,最终获得贴片器件的射频特性;同时得到微带线的特性,实际验证了该方法的正确性。