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本文利用激光照射于沉积在基片表面的薄膜上激光器表面声波,并利用外差光检测器探测表面声波位移.利用实验获得的色散曲线和已知基片参数,根据层次媒质中瑞利波传播理论,推算薄膜材料的厚度、弹性模量、密度等材料信息.
薄膜材料中表面声波的光外差法检测
【摘 要】
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本文利用激光照射于沉积在基片表面的薄膜上激光器表面声波,并利用外差光检测器探测表面声波位移.利用实验获得的色散曲线和已知基片参数,根据层次媒质中瑞利波传播理论,推算
【机 构】
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南京大学声学研究所和近代声学国家重点实验室(南京)
【出 处】
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中国声学学会2001青年学术会议
【发表日期】
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2001年11期
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