【摘 要】
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本工作使用串列加速器产生的S离子对不同厚度的聚碳酸酯、聚脂膜进行了不同密度的辐照,并在不同温度、不同碱度和不同蚀刻时间条件下,研究了蚀刻对孔形状,孔径,以及膜表面损耗等进行了研究.蚀刻后的样品通过表面金属镀膜的方式研究了该绝缘材料表面的抗金属污染的绝缘性能.结果显示,其抗金属污染的绝缘性能得到了大幅度提高.
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本工作使用串列加速器产生的<32>S离子对不同厚度的聚碳酸酯、聚脂膜进行了不同密度的辐照,并在不同温度、不同碱度和不同蚀刻时间条件下,研究了蚀刻对孔形状,孔径,以及膜表面损耗等进行了研究.蚀刻后的样品通过表面金属镀膜的方式研究了该绝缘材料表面的抗金属污染的绝缘性能.结果显示,其抗金属污染的绝缘性能得到了大幅度提高.
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