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本文对厚膜混合集成电路产品的ODS清洗替代项目的技术路线和试验进行了分析。通过对厚膜电路产品污染物、在厚膜电路产品制造过程中各主要工艺阶段不同的清洗目的、被清洗污染物、对清洗效果的不同要求的分析，正确地选择出了替代技术路线。
厚膜电路的清洗替代技术
【摘 要】
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本文对厚膜混合集成电路产品的ODS清洗替代项目的技术路线和试验进行了分析。通过对厚膜电路产品污染物、在厚膜电路产品制造过程中各主要工艺阶段不同的清洗目的、被清洗污
【机 构】
：
陕西华经微电子股份有限公司
【出 处】
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2003年清洗技术国际论坛
【发表日期】
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2003年期
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