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介绍了光载流子辐射测量技术在离子注入剂量测量方面的应用，以11B+和31P+离子注入硅片为例分析了信号随注入剂量的关系。
离子注入剂量的光载流子辐射测量技术研究
【摘 要】
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介绍了光载流子辐射测量技术在离子注入剂量测量方面的应用，以11B+和31P+离子注入硅片为例分析了信号随注入剂量的关系。
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所成都610209
【出 处】
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2008年远东无损检测新技术论坛
【发表日期】
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2008年期
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