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该文研究了直拉硅单晶氧径向均匀性与石英埚转速变化的关系。在单晶生长初期。石英埚转速变化对氧径向均匀性没有影响。但在单晶生长后期。石英埚转速增加导致氧径向均匀性变坏。
埚转速度变化对直拉硅单晶氧径向均匀性的影响
【摘 要】
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该文研究了直拉硅单晶氧径向均匀性与石英埚转速变化的关系。在单晶生长初期。石英埚转速变化对氧径向均匀性没有影响。但在单晶生长后期。石英埚转速增加导致氧径向均匀性变
【机 构】
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有色金属研究总院半导工程研究中心
【出 处】
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1998年全国半导体硅材料学术会议
【发表日期】
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1998年期
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