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用锥形玻璃毛细管聚焦离子束的方法获取微米离子束具有成本低、使用方便的特点,我们制备了出口口径20~100μm不等的多种锥形玻璃毛细管,并用其在2×1.7 MV串列加速器上获得了出射束流密度比入射束流密度大1~2个数量级的Mev能量He+微离子束。利用金硅面垒探测器(SBD)测鼍了在毛细管与入射束夹角不同条件下出射的微米束的能谱,并据此对锥形玻璃毛细管聚束的机制做了初步定性讨论。