【摘 要】
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本文主要提出了一种利用SU-8光刻胶形成高深宽比结构的新型压力传感器.为了解决传统压力传感器测量范围受限的问题,通过特定的结构设计,实现敏感膜形变量与法布里-珀罗腔
【机 构】
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南京师范大学物理科学与技术学院,江苏省光电技术重点实验室江苏南京210046
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本文主要提出了一种利用SU-8光刻胶形成高深宽比结构的新型压力传感器.为了解决传统压力传感器测量范围受限的问题,通过特定的结构设计,实现敏感膜形变量与法布里-珀罗腔长变化量的分离且相关的关系.该传感器基于法布里-珀罗(Fabry-Perot,F-P)干涉原理和相位解调理论测量压力.通过仿真逐一确定了结构参数,在半径为1500μm,厚度为100μm的硅圆膜上,利用SU-8光刻胶形成一个边长为100μm,高400μm的位移柱作为压力传感器的主要感应部件,通过敏感膜受力形变带动位移柱倾斜,以此改变法布里-珀罗腔的腔长.结构模型的灵敏度通过仿真测得为2.606μm/MPa.以此为指导进行了基本的工艺实验,明确了主要的工艺步骤.
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