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随着光刻机技术的发展,特征线宽尺寸减少到纳米级,对光刻机对准系统提出了更高的对准精度的性能指标。对准系统是光刻机最精密复杂的部分,不同的工艺条件,尤其是不同的衬底材料对对准系统的精度都会产生显著影响。阐述了Nikon步进投影光刻机的二种对准方式:激光步进对准(LSA)和场像对准方式(FIA)。并讨论了铝与氮化硅衬底材料对二种对准方式的精度影响,为工业应用提供一定的指导作用。