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用正丁醇和二丁胺开环进行改性，作为光致抗蚀干膜的主要组分。文中研究了正丁醇、二丁胺的用量，SMA的特性粘度对光致抗蚀干膜在水中显影速度的影响。（本刊录）
苯乙烯—顺丁烯二酸酐共聚体（SMA）的改性对水显影速度的影响
【摘 要】
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用正丁醇和二丁胺开环进行改性，作为光致抗蚀干膜的主要组分。文中研究了正丁醇、二丁胺的用量，SMA的特性粘度对光致抗蚀干膜在水中显影速度的影响。（本刊录）
【出 处】
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江苏省化学化工学会一九八四年年会
【发表日期】
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1984年期
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