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自20世纪90年代初以来，以扫描探针显微镜(SPM)特别是原子力显微镜(AFM)为代表的纳米结构的检测与表征技术的出现，标志着人类在对微观尺度的探索进入到一个全新的领域。近年来国内外又开展了新的扫描探针声显微镜(SPAM)的研究，以期实现纳米尺度上表面、亚表面及力学性质的成像。目前利用SPAM系统已取得了一些实验结果，因此需要更深入地了解SPAM的成像机理，这将有助于我们正确的操作仪器以取得更好的实验结果。为了寻找SPAM成像机理理论研究的有效途径，首先采用有限元法进行模拟探索。本文主要针对上述SPAM系统中，试样在低频超声激励下表面位移场的AKSYS模拟，分析试样表面位移场与激励频率、缺陷深度之间的关系。