【摘 要】
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用于光学元件面形检测和光学系统像差检测的夏克-哈特曼波前传感器，在标校过程中用一块平面反射镜或标准球面镜作为参考面。而在此过程中，一般将其视为理想状态，忽略了其本
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所,成都 610209
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用于光学元件面形检测和光学系统像差检测的夏克-哈特曼波前传感器，在标校过程中用一块平面反射镜或标准球面镜作为参考面。而在此过程中，一般将其视为理想状态，忽略了其本身所带误差。为满足高精度检测要求，平面反射镜或标准球面镜面形误差不可忽略。本文详细推导了旋转-平移法的理论公式，并采用旋转-平移的绝对检测方法进行仿真分析，获得平面反射镜面形误差。仿真结果表明：仿真获得的平面反射镜面形误差残差与初始所设相差很小，与初始所设值很好的吻合。
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