硅单晶生产中对石英坩埚的要求及展望

来源 :2003年全国高新技术用石英制品及相关材料技术研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:veteran_eng
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目前硅材料的发展主要是向着大直径、高纯度以及杂质分布高均匀性的方向发展。而石英坩埚是直拉硅单晶生长过程中的重要辅助材料,它的纯度和加工质量会直接影响硅单晶的内在质量,因此,随着对大直径单晶质量要求的不断提高,对半导体材料用石英制品及相关材料提出了更高的要求。本文分析了我国电弧石英坩埚企业发展的状况,并指出了国产石英柑锅与进口石英柑锅的质量差距。
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