当一根石英管处于真空腔中，在石英管中通入微波，处于真空腔内的石英管外表面就形成了表面波。当真空腔体中的气压适当时表面波就能在石英管的表面产生等离子体;当多根石英管靠近平行放置形成石英管阵列，多根表面波等离子体将互相叠加，在石英管附近就可以获得大区域均匀的高密度微波等离子体。这种微波等离子体由于密度高，面积大，能辅助化学汽相沉积(MWPECVD)大面积高质量薄膜。据文献报道，这种装置产生的氢和甲烷等离子能能在硼硅酸盐玻璃、碱石灰玻璃和石英基体顺利地生长纳米金刚石薄膜，且薄膜是一种高度透明和光滑的纳米金刚石薄膜。当加入了二氧化碳混合气，可改善膜性能，如透明度。本文根据表面波产生等离子体的基本原理进行了表面波等离子体源的研制，达到了为镀制薄膜的工艺研究所需要的设备条件。本文对镀膜设备的主要参数进行介绍。