一种新颖的谐振式差分微加速度传感器的理论建模

来源 :中国科学院电子学研究所2006年青年学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：stanley45518501

【摘要】

：

为了提高灵敏度，提出一种包括有效的微型杠杆结构的谐振式差分微加速度传感器.分析该结构差分检测的原理，推导该设计的理论模型，包括结构建模和轴向力作用下谐振微梁的固有频率偏移的推导，得到待测加速度与输出固有频率偏移的关系。使用有限元模拟来证实理论模型，模拟的结果说明该设计的灵敏度高于4KHz/g.

【作者】

：

陈健陈德勇王军波

【机构】

：

中国科学院电子学研究所传感器国家重点实验室(北方基地)

【出处】

：

中国科学院电子学研究所2006年青年学术交流会

【发表日期】

：

2006年5期

【关键词】

：

微机械电子系统谐振式微加速度传感器微型杠杆结构结构差分检测有限元模拟

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