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金刚石有最大的杨氏模量,因此在所有材料中,金刚石有最高的声波速度,氧化锌(ZnO)压电膜,具有强压电性.由ZnO压电膜激励声波,并与金刚石表面互作用,从而得到声波的一些新传播特性,获得一种复合的新型SAW器件材料.本文给出了ZnO/金刚石/Si多层结构界面波的相位速度以及机电耦合系数特性.
ZnO金刚石Si多层结构的界面波特性
【摘 要】
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金刚石有最大的杨氏模量,因此在所有材料中,金刚石有最高的声波速度,氧化锌(ZnO)压电膜,具有强压电性.由ZnO压电膜激励声波,并与金刚石表面互作用,从而得到声波的一些新传播
【机 构】
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四川压电与声光技术研究所,重庆,400060
【出 处】
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2006和谐开发中国西部声学学术会议
【发表日期】
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2006年8期
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