表面等离子共振传感器金属膜的优化设计分析

来源 :第23届过程控制会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：markoliu

【摘要】

：

基于表面等离子共振（SPR）传感器的理论模型，阐述了金属膜选择对传感器性能的影响。采用MATLAB数值模拟，比对分析了Au、Ag两种材料对于角度调制型SPR传感器性能影响，相应最佳厚度分别为52nm、38nm。根据Au、Ag各自特性，提出了一种Ag+Au复合膜结构的设计。通过对该复合膜结构SPR传感器性能的数值分析结果可知复合膜总厚度为50nm（Ag膜厚度20nm），可以改善传感器的性能。

【作者】

：

陈惠滨魏文才林少芬江小霞

【机构】

：

集美大学信息工程学院, 福建厦门 361021 集美大学轮机工程学院, 福建厦门 361021

【出处】

：

第23届过程控制会议

【发表日期】

：

2012年11期

【关键词】

：

传感器金属膜优化设计等离子体数值模拟

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