Design and Fabrication of a MEMS Flow Sensor and its Application in Precise Liquid Dispensing

来源 :中国微米纳米技术学会第十届学术年会暨第一届国际会议(1st International Conference of th | 被引量 : 0次 | 上传用户：caibh

【作者】

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【机构】

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RoboticsInsititute,HarbinInstituteofTechnogy,Heilongjiang,CHINA

【出处】

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中国微米纳米技术学会第十届学术年会暨第一届国际会议(1st International Conference of th

【发表日期】

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2008年11期

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