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该文根据平板国家标准中规定的检验方法和检测仪器，给出了平面波动量的定义，说明了它的检出方法和检出原理，推导出了平面波动仪批示值的解析表达式和平面波动量与局部平面度的关系。该文最后还探讨了平面波动仪的设计要点和它的应用方法。
平面波动仪的检出原理与应用
【摘 要】
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该文根据平板国家标准中规定的检验方法和检测仪器，给出了平面波动量的定义，说明了它的检出方法和检出原理，推导出了平面波动仪批示值的解析表达式和平面波动量与局部平面度的关
【机 构】
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中国科学院西安光学精密机械研究所
【出 处】
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2000年计量测试学术交流会
【发表日期】
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2000年期
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