【摘 要】
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洁净室最主要的功能在于控制产品所接触之环境中空气的品质,包括了空气的洁净度、温度与湿度,若能了解洁净室的流场,将有助于提高品质管理与生产效率.本文采用数值模拟方法,探讨洁净室内流场之分布特性与与半导体厂之排放气体对洁净室之影响,包括了外气风管配置之混风方式与照明设备发热量对制程区温度均匀性之探讨、洁净室内高架地板之压力分析及有毒化学气体外泄时有效排气控制程序之气流分析,并对半导体厂之废气排放污染提
【机 构】
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国立台湾大学机械工程研究所 汉唐讯联股份有限公司
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洁净室最主要的功能在于控制产品所接触之环境中空气的品质,包括了空气的洁净度、温度与湿度,若能了解洁净室的流场,将有助于提高品质管理与生产效率.本文采用数值模拟方法,探讨洁净室内流场之分布特性与与半导体厂之排放气体对洁净室之影响,包括了外气风管配置之混风方式与照明设备发热量对制程区温度均匀性之探讨、洁净室内高架地板之压力分析及有毒化学气体外泄时有效排气控制程序之气流分析,并对半导体厂之废气排放污染提出具体之改善方案.经由数值模拟可找到补充空气风管之最佳配置方式,提高外气混风之温度均匀性,并且照明设备发热量对洁净室温度场的影响很大必须列入设计的考量,洁净室内气流之压力降主要来自由高架地板,当有毒化学气体外泄时可由适当的排气策略有效地控制其扩散现象,废气排放之污染可藉由提高烟囱高度及排放速度而降低吸入口的污染物浓度.
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