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随着光纤激光器功率要求的不断提高，高功率光纤光栅的物理参数是限制其发展的主要因素。在光纤光栅的刻写过程中，刻写光源的光能分布变化会对光纤光栅的性能带来极大的影响。因此本文搭建了一种基于夏克哈特曼法的紫外光刻光能分布测试系统，用于实时监测刻写光斑的光束质量，从而提高光纤光栅的刻写性能。