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Thin-film encapsulation of OLED by parylene C and Al2O3 dyads based on Atomic layer deposition

来源 :第一届国际ALD应用大会暨第二届中国ALD学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：feihuiy1

【作 者】

：

Fei Fei Weicheng Wu Wenming Su Z.Cui 

【机 构】

：

Printable Electronics Research Center,Suzhou Insititute of Nano-Tech and Nano-Bionics,Chinese Academ

【出 处】

：

第一届国际ALD应用大会暨第二届中国ALD学术交流会

【发表日期】

：

2012年4期

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