【摘 要】
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3M公司的Vogel和Dennis设计了具有酸解活性的二苯基乙酸酯.它与酚醛树脂和产酸化合物配合,在曝光前为阻溶剂,曝光后为促溶剂,得到一类新型的正型抗蚀剂[1].这类抗蚀剂的感度
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<正> 3M公司的Vogel和Dennis设计了具有酸解活性的二苯基乙酸酯.它与酚醛树脂和产酸化合物配合,在曝光前为阻溶剂,曝光后为促溶剂,得到一类新型的正型抗蚀剂[1].这类抗蚀剂的感度在10mJ/cm~2左右[2],是酚醛树脂与DNQ系PAC组成的正性抗蚀剂感度的十倍至数十倍.然而,这种活性酯在常温下是低粘度液体,并且稳定性很差,限制了它在正性抗蚀剂和阳图PS版感光组成物中的应用.我们合成了一系列2,2-二苯基-2-酚基乙酸和它们的内酯化合物,再与乙烯基乙醚、二氢吡喃等反应,将羧基酯化、酚羟基醚化,得到了一系列在常温下是高粘度液体,具有酸解活性的酯、醚化合物.将这些活性酯、醚化合物与酚醛树脂、产酸化合物、红外吸收染料配合,在感光及感热成像中具有很好的阻溶、促溶性能.本文主要介绍这类活性酯醚化合物在光、热成像过程中的性能.
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