纳米粒子的表面沉积是采用纳米粒子实现纳米器件独特性能的先决条件，静电喷雾沉积法由于其装置结构简单，操作成本低廉，喷涂效率较高，而受到广泛关注，然而必须依靠大量的尝试性试验来得到静电喷涂过程中各种影响因素的最优组合。本文采用三维拉格朗日模型研究了静电喷涂过程纳米粒子的运动轨迹和沉积特性，并且通过实验验证了本文提出的数值模拟方法的可靠性。研究了固定静电喷涂设备以后的三个重要操作参数：溶液介电常数、外加电压和掩膜上电荷密度对粒子沉积特性的影响，研究结果表明随着溶液介电常数的增加，喷涂面积而且也相应的增加；通过增加外加电压，也能增加喷涂面积。证实了可以通过改变掩膜表面电荷密度来控制基板上纳米粒子的沉积特性，且高的表面电荷密度会产生较为聚集的沉积形貌。