【摘 要】
：
金刚石膜拥有许多优异的性能。在制备金刚石厚膜的各种方法之中，高功率微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法因其产生的等离子体密度高，同时金刚石膜沉积过程的可控性和洁净
【机 构】
：
北京科技大学材料科学与工程学院 北京 100083
论文部分内容阅读
金刚石膜拥有许多优异的性能。在制备金刚石厚膜的各种方法之中，高功率微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法因其产生的等离子体密度高，同时金刚石膜沉积过程的可控性和洁净性好，因而一直是制备高品质金刚石厚膜的首选方法。在世界范围内，美、英、德、日、法等先进国家均已掌握了以高功率MPCVD法沉积高品质金刚石膜的技术。但在中国国内，高功率MPCVD装备落后一直是困扰我国高品质金刚石膜制备技术发展的主要障碍。本文将首先综述国际上高功率MPCVD装备和高品质金刚石膜制备技术的发展现状，包括各种高功率MPCVD装置的特点。其后，将回顾中国金刚石膜MPCVD技术的发展历史，并重点介绍北京科技大学近年来在发展高功率MPCVD装备和高品质金刚石厚膜制备技术方面取得的新进展。
其他文献
图波列夫,安德烈·尼古拉耶维奇(),生于1888年10月 29日,1972年12月23日在莫斯科逝世。图波列夫1908年入莫斯科高等技术学校,参与设计和制造风洞。1918年,他和H.E.茹科夫斯
猕猴桃栽培新法———高接定植猕猴桃的高接定植，即先选取优良品种芽嫁接在枝上，然后再剪下种植的栽培技术。采用此法可以当年栽植当年获益，第二年即可进入结果盛期，大大缩短了结
非晶氧化物半导体因具有迁移率高、可见光透明性好、表面平整和可以室温制备等优良性能，作为非晶硅的替代材料受到广泛的关注。利用氧化物半导体制作透明氧化物薄膜晶体管
AlN薄膜具有很多优异的性能：高热导率(300W/(m·K))、高禁带宽度(6.2eV)、高击穿场强(14×106V/cm)以及良好的绝缘性能(电阻率大于1013Ω·cm)等.如此优异的性能使得AlN的
5000美元起家rn2001年2月,我来到美国纽约,朋友找了一间租金便宜的房子,让我住下来.我每天要做的事,就是寻找那些“快速赚钱的商机”.
一个时期以来,中国文艺界思想活跃,议论纷纷,争鸣激烈。为此,我走访了文艺界的老前辈、八十六岁高龄的夏衍,听听他对当前文艺界正在争鸣的一些“热门”问题的看法。夏衍在自
银杏快速繁育技术刘桂玲，胡伟（山东泰安市农科所）银杏又名白果、鸭脚、公孙树，是优良的绿化树种和优美的观赏树种。银杏的果仁、果壳、树叶、树皮、树根均有很好的药用价值，我国是
非晶态合金,即金属玻璃是一种新型金属材料。其优异性能如高硬度、高耐腐蚀性引起了人们的极大兴趣。然而金属玻璃的脆性限制了其实际应用。人们为此尝试制备出晶态-非晶
基于高分子的阻变存储器子在高密度存储、柔性电子器件等方面有可能得到应用.2003年,美国普林斯顿大学Forrest课题组用PEDOT：PSS这种导电高分子制备出一次写入、多次读取
波士顿地球报的一项报道说,得克萨斯州休士敦的中国生物学家徐道觉博士已成立了
A Boston Globe report said Dr. Xu Daokue, a Chinese biologist in Houston, Texas, has