MSA統計方法於量測系統評估之應用

来源 :第五届海峡两岸计量与质量学术研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:gaoliksk
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
本研究旨在將量測系統分析(MeasurementSystemAnalysis,MSA)方法應用於量測不確定度之分析方法上.文中先簡述偏差、穩定性與線性等MSA的三個分析指標:利用(-X)&R管制圖評估隨時間變化之穩定性;透過信賴區間確認量測平均值與參考值之間的偏差影響是否顯著;以及運用迴歸分析檢定量測範圍内的線性.最後以接觸式探針量測系統為例,先對使用之標準試片進行均匀性檢定後,以上述方法進行分析,並與該系統原先之評估方式相比較.
其他文献
本論文係針對機電式壓力計之校正與量測不確定度分析研究,主要目的是以EA-10/17(2002)指引和ASTMD5720-95(2002)指引之兩種不同規範,探討機電式壓力計的校正程序及其量測不確定度評估之觀念與方法.最後並以實際範例說明應用這兩種指引為規範,校正機電式壓力計並依據ISO"量測不確定度表示指引(GUM)"作量測不確定度分析.
量測技術發展中心低壓氣體流量標準之三套設備,依據ISOGUM之不確定度傳播方式進行系統評估,列出重要之不確定度來源,並藉由實驗、儀器規格及引用數值資料等方式加以量化.這些影響因子對不確定度貢獻以均方根(RSS)方式合併得到相對組合標準不確定度,再乘上擴充係數(k),得到受測量(質量流率)之相對擴充不確定度·經過評估後,管式校正器、小鐘形校正器及大鐘形校正器之相對擴充不確定度分別為0.10﹪、0.1
隨著環保意織的提升,範淨能源的使用不斷被鼓勵與普及,天然氣即是範淨能源的其中一例,台灣在天然氣的使用,除了一般工業及家庭用戶之外,最大宗的用戶即是興達、大潭等火力發電廠,因此天然氣的計量,小至家庭所使用的瓦斯錶,大可達30吋口徑的孔板流量計.台灣在高壓氣體流量校正方面,除了一套度量衡標準實驗室利用資量-時間法所建立的常壓狀態流量範圍15~18000m3/h的原級標準外,另外於嘉義由度量衡標準實驗室
台灣的中油公司在2004年初完成氣體大流量校正實驗室的建置,將可提供16英吋及以下口徑的天然氣計量用氣量計的校正服務.流量校正設備採用的氣源運用方式為循環式,具有極大的流量和壓力範圍,分別為60~4000m3/h和1~60bar.氣量計校正的操作流程可細分為41個與系統操控相關的步驟,其中最為複雜的部分,涉及四個校正管路區可能存在極大壓力差異,以及相互補氣機制的規劃設計.實驗室規劃使用之電腦自動化
角度散射儀(angularscatterometer)用於量測元件關鍵尺寸(criticaldimension),具有次奈米的解析度與精確度,因而被視爲次世代微影疊對量測(overlaymetrology)的利器之一.由於光柵式疊對圖樣直接影響角度散射儀的量測靈敏度,本文將說明如何以嚴格耦合波理論(RigorousCoupledWaveTheory)進行圖樣的幾何參數模擬設計,藉以得到最佳的疊對圖
一小型化的三軸移動装置可架置於商業化的掃描電子顯微鏡的腔體内,由外部以程式驅動使其在掃描電子顯微鏡的真空系統下操作.X、Y軸是利用慣性力作用來驅動,於脈波200V操作下,最小移動位移量5nm.Z軸是由inchwom來驅動,最小位移量0.1nm.此三軸移動装置可用於奈米碳管與AFM、STM等探針的黏接及奈米生物樣本的檢測。
精密尺寸量測對於溫度的敏感度相當高,當進行高精度的量測時,環境條件必須維持在20℃附近,以得到最佳之量測結果.但是溫度的控制仍有其限制,即使在環境條件極為良好的實驗室内進行尺寸量測,仍有可能因溫控的技術或效果導致量測結果的不確定度.一般在以ISOGUM來評估溫度效應所導致的不確定度分量時,因為成本的考量,不便實際蒐集數據以A類評估法評估此不確定度,習慣上多選擇使用B類的評估方式來估算.而進行B類評
在回顾GPS发展历程的基础上,分析了新一代GPS标准体系中要素、表面模型和不确定度三个关键概念,并且探讨了它们与以往标准的不同之处,最后对我国在新一代GPS标准体系的研究和贯彻方面提出了建议。
本文讨论计量对质量的重要作用,计量是关于测量的科学,是实现单位统一,量值准确可靠的活动;计量是经济活动、科学研究和社会发展的重要基础,渗透到人类活动的各个领域;是支撑社会经济有序和可持续发展的必需条件;是保证产品质量,提高综合国力的重要手段;是国际间科研合作和经济贸易的基础保障.随着21世纪科学技术的迅速发展,人类社会的文明进步,以及经济全球化的发展趋势,计量在国家经济中的地位和作用日趋显著。
本文应用职业健康安全管理体系思想和国外实验室安全经验,结合中国电气检测实验室检测工作和实施ISO/IEC17025标准实践,提出识别电气检测实验室机械、电击、火灾、有害物质和气体及辐射等五类危险源的方法,并结合人员、设备(设施)和样品给出具体实例.针对所识别的危险源,提出电气检测实验室安全策划和运行的系统思路和具体防范措施的例子,希望通过与同行的讨论交流,推动中国实验室安全技术和管理体系的研究.