为了适应辐射物理业务对微米级束流的需求,中国原子能研究院核物理所串列加速器实验室采用针孔技术建成重粒子微束装置.重粒子束流经过微米级(2.0×3.2μm<2>)针孔,形成微米级束流.实验用32MeV<32>S束流,得到微束的强度为10<2>-10<3>个/秒.对于微束的鉴定分为对微束粒子能量分布的测量和束斑尺寸的测量.前者,用金硅面垒探测器直接面对微束束流进行测量,实验结果峰总比为88﹪,即绝大部分成分为单能成分.对于束斑尺寸的测量采用了核孔膜方法,在针孔后1.5mm位置,放置厚度为12微米的PET膜,控制束流照射时间,使数百粒子通过PET膜.离线后,用紫外灯敏化,然后用NaOH溶液进行蚀刻,控制溶液温度和腐蚀时间,使孔的直径约0.1-0.2μm左右.冲洗后,用扫描电镜进行测量,结果为束斑尺寸为2.7×4.1μm<2>,在此束斑内有130个微孔.即能得到整体得形象是长方形,又可以看到在其边缘还是有一些散射粒子.用核孔膜方法测量微束尺寸,最大的好处是可以得最直观得束斑图象.