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电泳沉积法制备Y<,2>O<,3>稳定ZrO<,2>固体电解质薄膜

来源 :第五届全国固体薄膜学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：netgood

【作 者】

：

王贤仁 揣小红 

【机 构】

：

大学电子工程系(长春)

【出 处】

：

第五届全国固体薄膜学术会议

【发表日期】

：

1996年期

【关键词】

：

电泳沉积 法制 固体 

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