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Dry Etching Characteristics of As-doped ZnO Thin Film in BCl3-based Inductively Coupled Plasm
【机 构】
：
Chung-Ang University, 221 Heukseok-Dong, Dongjak-Gu, Seoul 156-756, Korea
【出 处】
：
9th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology
【发表日期】
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2008年期
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