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驱动器是一切自动化和设备的动力部件。该文分析了尺寸效应及其在微致动领域中的作用，总结了现有的各种致动原理的驱动器，并对其性能进行了比较和分析。
微电子机械系统中的驱动器
【摘 要】
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驱动器是一切自动化和设备的动力部件。该文分析了尺寸效应及其在微致动领域中的作用，总结了现有的各种致动原理的驱动器，并对其性能进行了比较和分析。
【机 构】
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广东工业大学自动化所(广州)
【出 处】
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全国自动化科学技术应用学术会议
【发表日期】
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2000年期
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