【摘 要】
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利用衍射光学理论阐述了结构光照明并行层析显微成像基本原理，计算分析了轴向层析响应曲线并对层析分辨率进行评价，指出在最佳系统参数设计条件下，结构光照明显微系统轴向层
【机 构】
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西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室,陕西西安 710049
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利用衍射光学理论阐述了结构光照明并行层析显微成像基本原理，计算分析了轴向层析响应曲线并对层析分辨率进行评价，指出在最佳系统参数设计条件下，结构光照明显微系统轴向层析分辨能力要高于理想点照明、点探测共焦显微镜。利用压印法加工了朗奇光栅作为投影调制光栅，在无限远科勒照明光学系统中引入光栅移相机构，搭建了结构光照明显微层析成像系统，对光电二极管芯片以及生物体复眼组织进行了层析成像检测，本研究可进一步应用实现微结构三维层析测量和高分辨率成像等。
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