【摘 要】
：
提出一种片上热驱动后屈曲式微力传感机制,用于微纳米尺度材料和结构的力学性能检测。该传感机构的感力机制是基于细长杆在受轴向压力超过临界载荷会发生横向失稳的特点,制造
【基金项目】
：
国家自然科学基金(11227202);国家重点基础研究发展计划(2013CB934203,2010CB631005);高等学校博士学科点专项科研基金(20130002110043)
论文部分内容阅读
提出一种片上热驱动后屈曲式微力传感机制,用于微纳米尺度材料和结构的力学性能检测。该传感机构的感力机制是基于细长杆在受轴向压力超过临界载荷会发生横向失稳的特点,制造不同感力范围的后屈曲式微力传感器。本文通过有限元数值模拟,计算了所设计的后屈曲式微力传感器的测力范围与微力分辨率,并通过MEMS工艺制造出了片上热驱动微力传感器序列。通过对其感力性能检测,表明该结构能很好地满足微米及以下尺度材料和结构的力载荷感知,且测量范围从微牛量级到亚纳牛量级,微力分辨率能够达到数十皮牛量级。
其他文献
<正> 对于嗷嗷待哺的小生命来说,母乳喂养是最好的——母乳不仅提供了宝宝所需的各种营养物质,而且近期的研究发现,母乳中含有保护宝宝不受或少受感染的重要物质,如核苷酸、
<正>很多家长都希望孩子能成长为懂礼貌、有风度、有责任感的小绅士,可究竟怎样才能做到这一点呢?我们不妨一起来看看,在绅士王国——英国,父母们是怎样按照绅士教育传统来教
目的探讨慢性肾衰竭(CRF)患者并发抗生素脑病的临床特点、预防及处理措施。方法回顾性分析46例CRF应用抗生素并发脑病患者的临床资料,分析使用抗生素种类、并发抗生素脑病的
我国《刑法》有关腐败犯罪某些问题的规定与《联合国反腐败公约》存在差异。为了更有效地打击腐败犯罪,推动《联合国反腐败公约》在我国的实施,应对《刑法》规定的腐败犯罪主
<正>时隔三年,《猩球崛起》系列电影再度来袭,两千多只大猩猩不仅表情惟妙惟肖,而且会说话、骑马、开枪、打仗。最让人惊叹的是,它们都不是真的猩猩,而是靠电脑特效做出来的
以陕西省1993年至2010年不变价格的GDP为样本,分别应用了二次函数模型、指数函数模型和自回归整合移动平均模型对原数列进行了拟合、分析与预测。经过比较,三者的误差依次为1
鮈亚科鱼类是鲤科鱼类中形态多样性和生态多样性较为丰富的类群之一,它们中的大多数仅分布于东亚地区.本研究以39 种鮈亚科鱼类的下咽骨和下咽齿为研究对象,分别选取3 个下咽
我国于20世纪末进入人口老龄化社会,随着人口老龄化的趋势不断加剧,且呈现高龄化、空巢化的特点,养老成为政府面临的一大难题,机构养老的作用日益突出。但由于政府养老财政预
自从2000年设立全国社会保障基金(以下简称:社保基金)以来,作为中国养老保险的主要预备资金。随着国有资产转持划拨和自身投资收益等积累,其投资规模已经相当巨大。社保基金
国家与社会的关系问题是社会科学界的基本命题,也是一个充满争议和歧见的话题领域。乔尔·S.米格代尔以国家与社会关系为自己的学术关切,在反思和对话的基础上,看到了韦伯式