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对于真空器件来说，维持和提高管内真空度是一项非常重要的工作，通常采用钛溅射离子泵(简称钦泵)或是吸气剂达到上述目的。本文主要介绍了抗振钛泵的结构改进,和传统通用钛泵的结构对比,其抗振性能大大提高,可应用于有高冲击振动要求的管型中.
抗振钛泵的结构设计
【摘 要】
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对于真空器件来说，维持和提高管内真空度是一项非常重要的工作，通常采用钛溅射离子泵(简称钦泵)或是吸气剂达到上述目的。本文主要介绍了抗振钛泵的结构改进,和传统通用钛泵的
【机 构】
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中国电子科技集团公司第十二研究所,北京100015
【出 处】
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中国电子学会真空电子学分会第二十届学术年会
【发表日期】
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2016年期
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