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AlN具有优异介电性、压电性,是重要的电子封装材料、绝缘介质材料、声表面波材料和蓝光紫外发光材料。本文介绍了AlN薄膜材料的特性、薄膜制备、器件应用与最新进展。
AlN薄膜材料性质及器件的研究进展
【摘 要】
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AlN具有优异介电性、压电性,是重要的电子封装材料、绝缘介质材料、声表面波材料和蓝光紫外发光材料。本文介绍了AlN薄膜材料的特性、薄膜制备、器件应用与最新进展。
【机 构】
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华南师范大学光电子材料与技术研究所 广东广州 51063
【出 处】
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第十届全国MOCVD学术会议
【发表日期】
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2007年期
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